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JCMsuite應(yīng)用：孤立線柵

這是一個(gè)一維孤立線光柵的簡(jiǎn)單案例。設(shè)置與周期線光柵的案例相同，但代替周期性排列的線，現(xiàn)在使用單線。因此，二維計(jì)算域不再采用水平方向上的周期性邊界條件，而是采用水平和垂直方向上的透明邊界。
 

 

光柵被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度

 

S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度

P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度
 

后處理傅里葉變換計(jì)算散射場(chǎng)在上半空間的傅里葉變換。
 

在實(shí)驗(yàn)中，遠(yuǎn)場(chǎng)通常由成像的光學(xué)裝置來(lái)收集。后處理光學(xué)成像允許描述一個(gè)通用光學(xué)成像系統(tǒng)。我們通過(guò)一個(gè)沒(méi)有像差的簡(jiǎn)單2X放大工具來(lái)演示這一點(diǎn)。
 

PostProcess {

  OpticalImaging {

  InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm"

  OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"

  OpticalSystem {

    SpotMagnification = 2.0

  }

}
 

輸出文件fourier_transform_image.jcm包含經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)后的場(chǎng)的傅里葉變換。可以使用笛卡爾輸出后處理來(lái)計(jì)算相干圖像。下圖顯示了不同z方向切片的圖像(圖像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明。

 

線光柵通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)后的相干圖像(s偏振入射平面波)

線光柵通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)后的相干圖像(p偏振入射平面波)